LCP-25 Туршилтын эллипсометр

Товч тайлбар:

Гарын авлагын эллипс туйлшралын хэмжигч нь хальсны зузаан болон хугарлын илтгэгчийг хэмжихэд унтралтын аргыг ашигладаг бөгөөд туршилтын процессын хазайлт болон хазайлтын өнцгийг гараар тохируулдаг. Эллипсометрийг хатуу суурь дээр диэлектрик нимгэн хальсыг хэмжихэд өргөн ашигладаг. Киноны зузааныг хэмжих аргад үүнийг хамгийн нимгэн, хамгийн өндөр нарийвчлалтайгаар хэмжиж болно.

Бидэнд имэйл илгээх

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй мэдээлэл

Бүтээгдэхүүний шошго

Үзүүлэлтүүд

Тайлбар	Үзүүлэлтүүд
Зузаан хэмжих хүрээ	1 нм ~ 300 нм
Ослын өнцгийн хүрээ	30º ~ 90º, Алдаа ≤ 0.1º
Туйлшруулагч ба анализаторын огтлолцлын өнцөг	0º ~ 180º
Дискний өнцгийн хэмжээс	Нэг хэмжээс тутамд 2º
Верньегийн хамгийн бага уншлага	0.05º
Оптик төвийн өндөр	152 мм
Ажлын үе шатны диаметр	Φ 50 мм
Нийт хэмжээсүүд	730x230x290 мм
Жин	Ойролцоогоор 20 кг

Эд ангийн жагсаалт

Тайлбар	Тоо ширхэг
Эллипсометрийн нэгж	1
He-Ne лазер	1
Фотоэлектрик өсгөгч	1
Фото камер	1
Цахиурын суурь дээрх цахиурын хальс	1
Шинжилгээний програм хангамжийн CD	1
Зааварчилгааны гарын авлага	1