LCP-25 Туршилтын эллипсометр

Товч тодорхойлолт:

Гарын авлагын эллипс поляриметр нь хальсны зузаан, хугарлын илтгэгчийг хэмжихийн тулд унтрах аргыг ашигладаг бөгөөд туршилтын процессын хазайлт, хазайлтын өнцгийг гараар зохицуулдаг.Эллипсометрийг хатуу субстрат дээр диэлектрик нимгэн хальсыг хэмжихэд өргөн ашигладаг.Киноны зузааныг хэмжих аргад хамгийн нимгэн, хамгийн өндөр нарийвчлалтайгаар хэмжиж болно.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй

Бүтээгдэхүүний шошго

Үзүүлэлтүүд

Тодорхойлолт	Үзүүлэлтүүд
Зузаан хэмжих хүрээ	1 нм ~ 300 нм
Ослын өнцгийн хүрээ	30º ~ 90º , Алдаа ≤ 0.1º
Туйлшруулагч ба анализаторын огтлолцлын өнцөг	0º ~ 180º
Дискний өнцгийн масштаб	Нэг масштабаар 2º
Мин.Верньегийн уншлага	0.05º
Оптик төвийн өндөр	152 мм
Ажлын үе шатны диаметр	Φ 50 мм
Ерөнхий хэмжээсүүд	730x230x290 мм
Жин	Ойролцоогоор 20 кг

Хэсгийн жагсаалт

Тодорхойлолт	Тоо ширхэг
Эллипсометрийн нэгж	1
Хэ-Не лазер	1
Фотоэлектрик өсгөгч	1
Фото эс	1
Цахиур субстрат дээрх цахиурын хальс	1
Шинжилгээний програм хангамжийн CD	1
Заавар гарын авлага	1