LCP-25 туршилтын эллипсометр
Оршил
Гарын авлагын эллипс поляриметр нь хальсны зузаан ба хугарлын индексийг хэмжихдээ устах аргыг ашигладаг бөгөөд туршилтын процессын хазайлт ба хазайлтын өнцгийг гараар зохицуулдаг. Эллипсометрийг диэлектрикийн нимгэн хальсыг хатуу субстрат дээр хэмжихэд өргөн ашигладаг. Киноны зузааныг хэмжих аргад хамгийн нимгэн, хамгийн өндөр нарийвчлалтайгаар хэмжиж болно.
Техникийн үзүүлэлтүүд
| Тодорхойлолт | Техникийн үзүүлэлтүүд |
| Зузаан хэмжих хүрээ | 1 нм ~ 300 нм |
| Үйл явдлын өнцөг | 30º ~ 90º, алдаа ≤ 0.1º |
| Туйлшруулагч ба анализаторын уулзварын өнцөг | 0º ~ 180º |
| Дискний өнцгийн хэмжээ | 2º хуваарьт |
| Мин. Vernier-ийг унших | 0.05º |
| Оптик төвийн өндөр | 152 мм |
| Ажлын үе шатны диаметр | Φ 50 мм |
| Ерөнхий хэмжээс | 730x230x290 мм |
| Жин | Ойролцоогоор 20 кг |
Хэсгийн жагсаалт
| Тодорхойлолт | Тоо |
| Эллипсометрийн нэгж | 1 |
| He-Ne Laser | 1 |
| Фото цахилгаан өсгөгч | 1 |
| Зургийн эс | 1 |
| Цахиурын субстрат дээрх цахиурын хальс | 1 |
| Шинжилгээний програм хангамжийн CD | 1 |
| Заавар гарын авлага | 1 |
Зурвасаа энд бичээд бидэнд илгээнэ үү
